ГОСТ Р ИСО 11146-1—2008
вдольоси z (желательноне менеечем в 10 точках). Примернополовина измеренийдолжна быть прове
дена в сечениях, расположенных в пределах одного рэлеевского расстояния (зоны) по обе стороны
перетяжек, ипримерноеще половина — впределахдвухрэлеевскихрасстояний(зон)отперетяжек. При
измерениях, проводимых на слабоастигматичесхих пучках, описанную выше процедуру измерений
повторяютотдельно для каждого издвух главныхнаправлений.
Предварительнаяобработкаданныхдолжна подтвердитьили исключитьпринадлежность измеря
емого пучка кастигматическомупучку. Для каждогоизмеренногов точке г,профилявычисляютвлабора
торной системе координат ширины пучка dnt и daf иазимутальный угол
Если различия значений азимутального угла двух любых некруговых (нециркулярных) профилей
превышают 10°, пучок следует отнести к разряду астигматических и обработку результатов измерений
выполнять в соответствии с ИСО 11146-2.
П р и м е ч а н и я
1Несостоятельностьполучаемыхоценокнеможетслужитьдоказательстеом принадлежности пучка кразря
ду стигматических или слабоастигматических пучков. Пучок может обладать скрытыми признаками астигматичес
кого пучка, которые могут быть выявлены лишь при выполнении процедуры обработки данных, предусмотренной
ИСО 11146-2.
Аппроксимирующая гиперболическая зависимость результатов измерений диаметра пучка в различных
сеченияхг вдоль трассы его распространения описывается формулой
dj,
2
) - л/а - Ьг +С
2
г.<24)
Коэффициенты а. Р. с (или ах.ау. Ьх.Ьу. сх. су)гипербол(ы) определяют наиболее подходящими численными
или статистическими методами криволинейной аппроксимации (см. примечания 2 и 3). Коэффициенты распростра
нения пучка определяют из выражений:
<25)
—L .^Аас -Ь 2,
2^с
<26)
Vc;
(27)
— -]Аас
2с
<28)
8>
: —
.
V4ас -
0
*.
<29)
2 Если в каждом сечении вдоль оси z проводят более одного измерения диаметра пучка, следует провести
взвешивание получаемых в данной точке оси данных путем определения значений, обратно пропорциональных
расхождению результатов измерений.
3 Аппроксимация должна быть выполнена путем минимизации суммы квадратов относительныхотклонений
при измеренияхдиаметра.
4 Разделение перетяжек астигматического пучка Д2в известно также под названием астигматической раз
ности иописано формулой
л
2
= |Z,U -
2
е/1 (см. также 3.3.4 ИСО 15367-1 (2)).
Е
с
л
и
перетяжки пучка недоступны для прямых измерений, вышеописанная процедура применима
для обработки данных измерений, выполняемых при наличии искусственно формируемой перетяжки с
помощью безаберрационногофокусирующегоэлемента по6.6. Всоответствиис рисунком 3 расстояния
202илиza2, иг0
2
у от искусственноформируемой перетяжкидозаднейглавнойплоскостифокусирую
щего элемента и ширины пучка dn2 илиdo2x иda2y могут быть вычислены в «привязке» к этой искусст
венной перетяжке.
Согласноэтим определениям местоположение(я)перетяжки(ек)20, илигйи иzov истинного(под
линного) пучка относительно передней главной плоскости Н, фокусирующего элемента вычисляют по
формуле
гдех2 (или у2)определяюткак
*о.1= V2*2 *f.
(30)
X2= Z0.2-f-
<31)
9