ГОСТ Р 8.643—2008
8.3.2Определение основной погрешности ЭУФ-рефлектометров при измерении коэффи
циента диффузного отражения
При измерении коэффициентадиффузного отражения в ЭУФ-рефлектометрустанавливаютплос
кий диффузно отражающий образец из вольфрама. На длине волны 10 нм проводят измерение потока
падающего на образец излучения Р0(Х) (приложение А). Регистрируют сигналы фотоприемника
ЭУФ-рефлектометра для прямого пучка /°1(Х) и рассеянного излученияаналогично 8.3.1. Затем
регистрируютпоказанияфотоприемника, соответствующиедиффузноотраженномуизлучению /’(Х.<р)и
рассеянному излучению J’ (X,ч>)(приложение А). При этом фотоприемник последовательно устанавли
вают в положения, соответствующие значениям угла <р. от q>mln до ч>тлл с шагом 5е.
Значение коэффициентадиффузного отражения pd(X) определяют поформуле
рв(Х)=
/ 1
Ф,)]
<5}
где q — геометрический фактор, указанный в паспорте на ЭУФ-рефлектометр;
т — число градаций по углу<р,.
Определяют среднее арифметическое значение коэффициента диффузного отражения pd(X)n
CKO результата измерений S3аналогично 8.3.1.
Определениера(Х)иS0повторяют длядлинволнХу в пределахрабочего спектральногодиапазона
ЭУФ-рефлектометра с шагом 2 нм. При значениир„(>.) не менее0.01 S0 не должно превышать 4 %.
Определение коэффициента линейности фотоприемника ЭУФ-рефлектометра для измерения
коэффициентадиффузного отражения проводят на установкев составе РЭ поГОСТ8.197 иГОСТ8.552
аналогично 8.3.1. Значения систематической погрешности 0, вызванной отклонением значения коэф
фициенталинейности фотоприемника ЭУФ-рефлектометра от единицы, недолжно превышать 7 %.
9 Обработка результатов поверки
Обработку результатов поверки ЭУФ-рефлектометров проводят в соответствии с ГОСТ 8.207.
9.1 Пределдопускаемой основной относительной погрешности лрассчитывают поформуле
Д = KSt = K(0*/3 + Sg)1’2,(6)
где К — коэффициент, определяемый соотношением случайной и неисключеиной систематичес
кой погрешностей:
к
_
tS0 + 9
.
(e*/3i-s*)v2 ’
<?)
(-)— систематическая погрешность, обусловленнаяотклонением значения коэффициента линейности
фотоприемника ЭУФ-рефлектометра от единицы;
t — коэффициентСтьюдента (/ = 2,78).
9.2 Результаты поверки ЭУФ-рефлектометровдля измерения коэффициентов зеркального отра
жения считают положительными, если предел допускаемой основной относительной погрешности не
превышает 12 % вдиапазоне длин волн 10 — 30 нм.
9.3 Результаты поверки ЭУФ-рефлектометров для измерения коэффициентовдиффузного отра
жения считают положительными, если предел допускаемой основной относительной погрешности не
превышает 18% вдиапазоне длин волн 10 — 30 нм.
10 Оформление результатов поверки
10.1 При положительных результатахповерки оформляютсвидетельство о поверке, и ЭУФ-реф
лектометр допускают к применению в качестве средства измерений коэффициентов зеркального (диф
фузного) отражения вдиапазоне длин волн 10 — 30 нм.
10.2 При отрицательных результатах поверки свидетельство о поверке аннулируют и выдают
извещение о непригодности.
4