ГОСТ Р8.643—2008
Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы ЙС Т А Н Д А Р ТР О С С И Й С К О ЙФ Е Д Е Р А Ц И И
Государственная система обеспечения единства измерений
РЕФЛЕКТОМЕТРЫ ЭКСТРЕМАЛЬНОГО УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ
В ДИАПАЗОНЕ ДЛИН ВОЛН 10—30 нм
Методика поверки
State system for ensuring the uniformity of measurements.
Reflectometers for extreme ultraviolet radiation in 10—30 nm wave-tength range. Venfication procedure
Дата введения — 2009—02—01
1 Область применения
Настоящий стандарт распространяется на средства измерений коэффициентов зеркального и
диффузного отражений вдиапазонеэкстремальногоультрафиолетового(ЭУФ)излучения — ЭУФ-реф-
лектометры. используемые вдиапазоне измеряемых значений коэффициентов зеркального идиффуз
ного отражений от 0.01 до 0.7 в диапазоне длин волн 10 — 30 нм (далее — ЭУФ-рефлектометры). и
устанавливает методику их поверки.
Измерения коэффициентов зеркального и диффузного отражений вдиапазоне ЭУФ проводятдля
определения эффективности зеркал идифракционных решеток при контроле технологических процес
сов формирования многослойных наноструктур.
В качестве источников ЭУФ-излучсния используют источники синхронного излучения, переходно
го излучения и излучатели типа плазменный фокус. В качестве приемников ЭУФ-излучения используют
кремниевые фотодиоды с многослойными нанопокрытиями, вторичные электронные умножители и
канальные электронныеумножители.
Межповерочный интервал — не более одного года.
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
ГОСТ 8.197—2005 Государственная система обеспечения единства измерений. Государствен
ная поверочная схемадлясредств измеренийспектральной плотности энергетической яркостивдиапа
зонедлин волн от 0.04до 0.25 мкм.
ГОСТ8.207—76 Государственнаясистема обеспеченияединстваизмерений. Прямые измерения
с многократными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положения
ГОСТ 8.552—2001 Государственная система обеспечения единства измерений. Государствен
ная поверочная схема для средств измерений потока излучения иэнергетической освещенности вдиа
пазонедлин волн от 0,03до 0.40 мкм
П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылоч-
ных стандартов в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального
агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информа
ционному указателю «Национальные стандарты», который опубликован по состоянию на 1января текущего года, и
по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году.
Если ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководство
ваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в
котором дана ссылка на него, применяется вчасти, не затрагивающей эту ссылку.
Издание официальное
1