ГОСТ Р 8.643—2008
8.2 Опробование
При опробованиидолжны бытьустановлены:
- наличие показаний ЭУФ-рефлектометров при освещении ЭУФ-излучением;
- правильное функционирование переключателей пределов измерений, режимов работы
ЭУФ-рефлектометров.
8.3 Определение метрологических характеристик
8.3.1Определение основной погрешности ЭУФ-рефлектометров при измерении коэффи
циента зеркального отражения
При измерении коэффициента зеркальногоотражения в ЭУФ-рефлектометр устанавливают плос
кое зеркалос многослойным покрытием. На монохроматоре ЭУФ-рефлектометраустанавливаютдлину
волны 10 нм. соответствующую наименьшей длине волны рабочего диапазона ЭУФ-рефлектометра, и
угол падения излучения на зеркалоо. равный 45°.
Фотоприемник ЭУФ-рефлектометра поочередно устанавливают в положение для измерения
интенсивности прямого и зеркально отраженного пучков излучения, регистрируют сигналы фотоприем
никадля прямого пучка /° (X)изеркально отраженного пучка /, (X)(приложение А). Затем на входефото
приемника устанавливают блокирующий фильтр и регистрируют показания фотоприемника для прямо
гопучка ^ (X)изеркальноотраженного пучкаJ,(X).соответствующиерассеянномуизлучениюв монохро
маторе ЭУФ-рефлектометра. В качестве блокирующих фильтров используют фильтр из стекла MgF2
толщиной 1,5 мм. Измерения /° (X), I,(X),J° (X)иJ,(Я)выполняют 5раз.
Результат/-го измерения коэффициента зеркального отражениярГ1(X)рассчитывают по формуле
Ро (X) = (Л,(Х) — Jr, (X)] / [/“(X)— 4°(Х)1.(1)
Вычисляют среднее арифметическое значение р,(X). Оценку относительного среднего квадрати
ческого отклонения S0результатовп независимых измерений определяют по формуле
{ilS W -M x n V 2
So =-----------------— .(2)
р,(>.)Ил -1)]»"
Определение pf(X)и S0повторяютдлядлин волнв пределахрабочегоспектральногодиапазона
ЭУФ-рефлектометрасшагом 1.0нм. При значениирг(X)не менее0,01 длявсехдлинволн X, значение S0
недолжно превышать 3 %.
Коэффициент линейности ЭУФ-рефлектометра определяется отклонением чувствительности
фотол риемникаЭУФ-рефлектометра(далее — фотоприемник)от постоянногозначенияв рабочемдиа
пазоне измеряемой величины.
Определение коэффициента линейности чувствительности фотоприемника при измерении зер
кального отражения проводят на установке в составе рабочего эталона по ГОСТ 8.197 и ГОСТ 8.552 с
использованием источника ЭУФ-излучения. Регистрируют показания фотоприемника без нейтральных
ослабителей Л ипри использованиидвух нейтральныхослабителей /, и /2.Показание Л фотоприемни-
ка должно соответствовать верхнему пределудиапазона измерения коэффициента зеркального отра
жения. Измерения выполняют 5 раз с использованием экранирующих заслонок и рассчитывают
коэффициентлинейности чувствительности фотоприемника ЭУФ-рефлектометра Gдля каждого изме
рения по формуле
G = !Л /2/Л</, + /2)|.(3)
Определяют среднее арифметическое значение G коэффициента линейности чувствительности
фотоприемника ЭУФ-рефлектометра, относительное среднее квадратическое отклонение (CKO) S0,
суммарное СКО результатов измерений по формуле (2) и рассчитывают погрешность ЭУФ-рефлекто
метра. вызваннуюотклонением значения коэффициенталинейности чувствительностифотоприемника
от единицы 0, %. по формуле
0 = 100|(G — 1)|.
(
4
)
Затемпотокизлученияламп ослабляют с помощью нейтральныхослабителейтаким образом, что
бы показания /, и /2уменьшилисьв 5 раз. ивновьопределяютG и 0. Измеренияповторяют при увеличе
нии ослаблениядо достижения уровня коэффициентов зеркального отражения <. 0,01. Все полученные
значения 0 недолжны превышать4 %.
з