ГОСТ Р 8.640—2008
Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы ЙС Т А Н Д А Р ТР О С С И Й С К О ЙФ Е Д Е Р А Ц И И
Государственная система обеспечения единства измерений
РАДИОМЕТРЫ УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ
ПРОЦЕССОВ В ФОТОЛИТОГРАФИИ
Методика поверки
State system for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements
for photolithography technological processes testing. Verification methods
Дата введения — 2009—01—01
1 Область применения
Настоящий стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультра
фиолетового (УФ) излучения — радиометрыУФ-излучения. используемые в фотолитографии (далее —
радиометры УФ-излучения), и устанавливает методику их первичной и периодической поверок.
Технологические УФ-излучатели применяют для фотолитографии при создании высоких уровней
УФ-освещенности в микро- и наноэлектронике. Средства измерений характеристик УФ-излучения в фо
толитографии обеспечивают в диапазоне длин волн от 0,01 до 0,25 мкм измерения энергетической
освещенности в динамическом диапазоне, нижняя граница которогосоставляет не более 0,1 Вт/м2. вер
хняя — не менее 100 Вт/м2.
Методы оценки погрешностей радиометров УФ-излучения, представленные в настоящем стан
дарте. соответствуют рекомендациям № 53 Международной комиссии по освещению [1].
Межповерочный интервал — не более одного года.
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
ГОСТ 8.207—76 Государственная система обеспечения единства измерений. Прямые измерения
с многократными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положения
ГОСТ8.552—2001 Государственная системаобеспечения единства измерений. Государственная
поверочная схемадля средств измерений потока излучения и энергетической освещенности в диапазо
не длин волн от 0.03 до 0,40 мкм
П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылоч
ных стандартов в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального
агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информа
ционному указателю «Национальные стандарты», который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и
по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году.
Если ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководство
ваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в ко
тором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.
3 Операции поверки
При проведении поверки выполняют операции, указанные в таблице 1.
Издание официальное
1