ГОСТ Р 8.640—2008
Приложение А
(обязательное)
Характеристики радиометров УФ-излучения
Радиометры УФ-излучения используют е фотолитографии для измерений энергетической освещенности в
ваттах на квадратный метр (Вт/м*) в диапазоне длин волн
|х,
—
х2]
в соответствии с ГОСТ 8.5S2. Значение энерге
тической освещенности £э определяют по формуле
где А — безразмерный коэффициент;
X — длина волны, мкм;
£Г(Х)— спектральная плотность энергетической освещенности.
Спектральная чувствительность S (X) радиометров УФ-излучения а фотолитографии в соответствии с фор
мулой (1) должна быть постоянной в диапазоне длин волн [X, — Х2| и равной нулю вне диапазона, так что показания
радиометра пропорциональны измеряемому значению энергетической освещенности.
(А.1)
Библиография
(1) CIE N53 Methods of characterizing the performance of radiometers and photometers. — 1982. — 24 p.
10