ГОСТ Р 8.640—2008
9Обработка результатов измерений
Обработку результатов измерений характеристик радиометров УФ-излучения и определение
основной относительной погрешности проводят в соответствии с ГОСТ 8.207.
9.1 Оценку относительного среднего квадратического отклонения S
0
результатов измерений для
п независимых измерений проводят по формуле (
1
).
CKO SGопределяют по результатам измерений в соответствии с 8.3.3 в динамическом диапазоне
от 0.1 до 100 Вт/м2.
9.2 Границу относительной неисключенной систематической погрешности 0Оопределяют по
формуле
где в, — составляющие неисключенной систематической погрешности:
0, — погрешность спектральной коррекции (
0
, <.
8
% — по 8.3.1);
02
— погрешность определения абсолютной чувствительности
(02
£ 10 % — по 8.3.2);
03— погрешность линейности (0
3
£
6
% — по 8.3.3);
04
— погрешность угловой коррекции (в, <J % — по 8.3.4).
Граница относительной неисключенной систематической погрешности радиометров УФ-излуче
ния не должна превышать 16 %.
9.3Предел допускаемой основной относительной погрешности результатов измерений ЭО \
рассчитывают по формуле
10 Оформление результатов поверки
10.1 При положительных результатах поверки оформляют свидетельство о поверке и радиометр
допускают к применению в качестве средств измерений характеристик УФ-излучения в фотолитогра
фии.
10.2 При отрицательных результатах поверки свидетельство аннулируют и выдают извещение о
непригодности.
(
8
)
(9)
где К — коэффициент, определяемый соотношением случайной и неисключенной систематической по-
грешностей.
Таккакдля радиометра УФ-излучения 0О>
8
S0. то случайной погрешностью по сравнению с сис
тематической пренебрегают и принимают ^ =
0
О.
9.4Результаты поверки радиометров УФ-излучения считают положительными, если предел до
пускаемой основной относительной погрешности не превышает
20
%.
9