8
- заземляющих устройств должно соответствовать требованиям ГОСТ 12.1.030.
- Технологическое обеспечение наноразмерной обработки
- Требования к заготовкам
Основные параметры и размеры заготовок при наноразмерной обработке должны соответствовать требованиям нормативных документов для особо точных деталей.
- Требования к технологическому оборудованию
- Для обеспечения точности реализации линейных размеров в пределах + 50 нм, точности определения формы поверхности в пределах + 25 нм, точности определения шероховатости поверхности в пределах Ra = 0,5 - 1 нм кинематическая разрешающая способность систем перемещения (прямых приводов) и точность позиционирования должна быть в пределах от 5 до 10 нм, повторяемость — не более 20 нм.
- Компоновка ТО (станка, стенда и пр.), точность самих узлов ТО (основания, станины, шпинделя, суппорта) и их перемещений (вращения) должны обеспечивать заданную точность движений формообразования и исключать деформации взаимного расположения узлов ТО в горизонтальной и вертикальной плоскостях от колебаний температуры.
- Плавность а перемещения рабочих органов (суппортов, шпинделя и пр.) по всем координатам (X, Y, Z, A, B, С) должна соответствовать — а <0,001 g.
- ТО должно иметь специальный изолированный фундамент на виброизолирующих опорах, имеющих собственную частоту колебаний fc < fo Гц.
- ТО предусматривает балансировку предметного стола с деталью, приспособления, элементов крепления и инструмента.
- Рабочая позиция ТО предусматривает расположение устройств контроля формы, положения резца и правки режущего инструмента.
- В ТО используются прецизионные подшипники с осевым и радиальным биением в пределах нанометрического диапазона.
- Требования к режущему инструменту
- Отсутствие на режущей части наружных и внутренних трещин, заусенцев, прижогов, сколов, выкрошенных мест, физических и химических загрязнений (капель).
- Передний угол инструмента должен иметь отрицательные значения в зависимости от обрабатываемого материала.
- Радиус кривизны вершины лезвия в плане должен быть в пределахот20 до 80 нм, а в секущей плоскости — в пределах от 5 до 10 нм.
- Дискретность перемещения и точность позиционирования инструмента — не более 5 нм для его работы в зоне до 100 нм.
- Стойкость инструмента должна обеспечивать обработку заданной партии заготовок (деталей).
5.4 Требования к средствам измерений и метрологическому обеспечению
5.4.1 Стабильность и высокая точность операций контроля как в части линейных перемещений, так и в части контроля формы поверхностей должны быть обеспечены:
- с помощью оптических средств — лазерных интерферометров;
- с помощью емкостных датчиков;
- наличием в составе средств измерений:
- сканирующего микроскопа для формирования изображения объекта;
- микроскопа для наблюдения зоны обработки;
специализированных средств измерений с соответствующей разрешающей способностью для измерений температуры, давления и относительной влажности воздуха, а также концентрации взвешенных частиц в 1 м3 воздуха.