7
заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.
- Термины и определения
- лезвийная наноразмерная обработка: Метод токарной обработки монокристаллическим инструментом (алмазным и пр.) поверхностей различных форм с точностью в нанодиапазоне.
- взвешенная частица: Твердый или жидкий объект, который определяет чистоту воздуха и характеризуется совокупным распределением, основанным на пороговом размере (нижнем пределе) в диапазоне 0,1—5 мкм.
- Общие положения по технологическому обеспечению наноразмерной обработки
- Основные виды наноразмерной обработки
Наноразмерная обработка осуществляется следующими видами обработки (и их подвидами):
- механическими (дифференцированное пластическое деформирование и пр.);
- электрическими (электроэрозия, анодное растворение микронеровностей и пр.);
- магнитными (магнито-электрореологические, магнитоимпульсное взаимодействие микрочастиц и пр.);
- плазменными и электронно-лучевыми (напыление покрытий, осаждение наночастиц, упрочнение наночастицами и пр.);
- комбинациями обработки указанных видов.
- Организация работ и требования к производственным условиям при наноразмерной
обработке
- Изделия должны сохранять свои параметры в пределах норм, установленных в НД (ТЗ, ТУ и пр.).
- Обеспечение стабилизации основных параметров рабочего помещения
- Температурный режим в помещении должен быть 20 °С с колебаниями в зоне обработки не более + 0,5 °С в течение рабочего дня в соответствии с ГОСТ 8.050. Действие местного нагрева, в том числе действие прямых солнечных лучей, не допускается.
- Колебания температуры воздуха, подаваемого в пневмосистему ТО, не должны быть более + 1 °С.
- Относительная влажность воздуха — 58 % в соответствии с ГОСТ 8.050. Колебания относительной влажности воздуха — + 3 %.
- Атмосферное давление — 101,3 кПа. Давление окружающего воздуха в рабочем помещении должно быть не меньше атмосферного. Не допускается превышение атмосферного давления более чем на 3 кПа.
- Максимально допустимая концентрация частиц, взвешенных в 1 м3 воздуха в рабочем пространстве (чистом помещении, чистой зоне) по классу точности 4—6, — в соответствии с ГОСТ ИСО 14644-1.
- Частота возмущающих гармонических вибраций (f), действующих на объект нанообработки и средства измерений, не должна превышать 30 Гц, при этом:
- приf < 1 Гц амплитуда возмущающих вибраций A < 0,01 мм.
- при 1 < f <30 Гц амплитуда возмущающих вибраций А — по ГОСТ 8.050.
- Напряженность магнитного поля не должна превышать 80 А/м, напряженность электростатического поля — 5 В/м. Пределы допускаемой амплитуды колебаний магнитного поля в процессе измерений при наличии в средствах измерений неэкранированных электромагнитных преобразователей — 10 А/м по ГОСТ 8.050.
- Требования по обеспечению электромагнитной совместимости в части устойчивости к электромагнитным помехам кэлектротехническим, электронным и радиоэлектронным изделиям и аппаратуре — согласно ГОСТ Р 51317.6.2 и ГОСТ Р 51317.6.4.
При установке ТО используется шина, соединенная с низкоомным контуром заземления. Сопротивление контура должно быть не более 4 Ом. ТО должно подключаться к трехфазной четырехпроводной сети переменного тока напряжением 380 + (10% - 15%)Ви частотой (50 + 1) Гц. Выполнение