4
Примечание — Термин «наибольшее выпускное давление» соответствует термину «критическое давление на выходе», используемому в зарубежной практике.
- предельное остаточное давление Р0, Па (ultimate pressure): Давление, к которому асимптотически стремится давление в измерительной камере при отсутствии натекания газа и при нормально работающем насосе.
- измерительная камера; измерительный колпак (test header; test dome): Камера определенной формы и размеров, присоединенная ко входу насоса и оборудованная средствами для измерения давления и потока газа, через которую измеряемый газовый поток поступает в насос.
- Аппаратура
- Измерительная камера
- Измерительная камера имеет цилиндрическую форму и описана в ГОСТР 53334. Конструкция и размеры — в соответствии с рисунком 1.
Осевой размер измерительной камеры равен 1,5 D (D — внутренний диаметр камеры). Поток напускаемого в измерительную камеру газа должен быть направлен по оси камеры в сторону, противоположную входному фланцу камеры, и располагаться на расстоянии от него, равном диаметру камеры. Патрубок для подсоединения вакуумметра должен быть расположен на расстоянии 0,5 D от входного фланца камеры. Его ось должна быть перпендикулярна оси камеры. Рекомендуется использовать три патрубка для подсоединения вакуумметров.
Ось измерительной камеры должна быть перпендикулярна плоскости входного фланца насоса. Внутренний диаметр измерительной камеры должен быть равен внутреннему диаметру входного отверстия насоса или входного отверстия присоединяемой ловушки.
- Для насосов с диаметром входного фланца менее 100 мм используется измерительная камера диаметром 100 мм. Переход к входному фланцу насоса производится с помощью конического переходника, представленного на рисунке 1.
- Измерительная камера должна быть изготовлена из нержавеющей стали с полированными внутренними поверхностями.
Перед сборкой испытательной установки все поверхности, находящиеся в вакууме, должны быть очищены, обезжирены и обезвожены.