5
- Вакуумметр
- Вакуумметры, используемые для измерения предельного остаточного давления в измерительной камере, должны иметь относительную погрешность не более:
+ 5 % — при измерении давления более 1 Па;
+ 10 % — при измерении давления в диапазоне 1 Па и менее.
Примечание — С учетом различия государственной системы обеспечения единства измерений Российской Федерации и системы калибровки средств измерения (далее — СИ), принятой в странах ЕС, погрешность вакуумметров указана относительно образцового СИ первого разряда.
- Рекомендуется использовать для измерения предельного остаточного давления вакуумметры, относящиеся к типу, когда их показания не зависят от природы газа или пара, с относительной погрешностью + 10 % от давления, подлежащего измерению.
- При измерении парциального предельного остаточного давления вакуумметр должен быть присоединен через охлаждаемую ловушку.
- Методика испытаний
- Измерение предельного остаточного давления
Измерение предельного остаточного давления осуществляется путем измерения давления в измерительной камере, откачиваемой испытываемым насосом, через равные промежутки времени.
- Порядок действий
5.2.1 Для измерения предельного остаточного давления применяется испытательная установка, схема которой представлена на рисунке 2.
R
- Перед началом измерения должна быть проверена герметичность испытательной установки.
Допускаемый поток натекания из атмосферы Одоп (м3 • Па/с) не должен превышать значения, определяемого по формуле
Одоп ^ 5 • 10~5PoS,
где Ро — предельное остаточное давление, Па;