ГОСТ 8.296—2015
4.2 Рабочие эталоны 2-го разряда
4.2.1 Вкачестверабочихэталонов2-горазрядаприменяютэталонныеприборы
(микроинтерферометры, интерференционные микровысотомеры, контактные профилометры) и
эталонные меры шероховатости.
4.2.2 Пределы допускаемых относительных погрешностей д0рабочих эталонов 2-го разряда не
должны превышать 6% в диапазоне от 0.001 до 0.1 мкм, 4%в диапазоне от 0.1 до 1 мкм и
составлять от 2 % до 0.08 % в диапазоне от 1до 3000 мкм.
4.2.3 Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 3-го разряда и
рабочих средств измерений методом прямых измерений.
4.3 Рабочие эталоны 3-го разряда
4.3.1 Вкачестверабочихэталонов3-горазрядаприменяютэталонныеприборы
(микроинтерферометры, интерференционные микровысотомеры, контактные профилометры) и
эталонные меры шероховатости..
4.3.2 Пределы допускаемых погрешностей д0 рабочих эталонов 3-го разряда не должны
превышать 12 % в диапазоне от 0,001 до 0,1 мкм, 8 % в диапазоне от 0,1 до 1 мкм и составлять от 4 %
до 0,2 % в диапазоне от 1до 3000 мкм.
4.3.3 Рабочие эталоны 3-го разряда применяют для поверки рабочих средств измерений
методом прямых измерений.
5 Рабочие средства измерений
В качестве рабочих средств измерений применяют микроинтерферометры (МИИ), приборы
светового(ПСС)и теневого(ПТС) сечений,контактныепрофилометры,бесконтактные
профилометры, сканирующие зондовые микроскопы (СЗМ), образцы шероховатости поверхности
(сравнения) и образцовые детали.
Пределы допускаемых погрешностей А „ рабочих средств измерений составляют от 2 % до 50 %.
3