ГОСТ 8.296—2015
- Rmaxw Rz в диапазоне от 1 до 3000 мкм. Ra - от 0.4 до 750 мкм со средним квадратическим
отклонением результата измерений S. не превышающим 0.04 мкм при 20 независимых измерениях,
при неисключенной систематической погрешности О. не превышающей 0.013 мкм.
При этом стандартная неопределенность, оцененная по типу A. цАсоставляет:
- в диапазоне от 0.001 до 50 мкм - 0.2-10’3мкм;
- в диапазоне от 0.0015 до 3 мкм - 0.2-103мкм;
- в диапазоне от 0.025 до 0.1 мкм - 1,5 103мкм;
- в диапазоне от 1до 3000 мкм - 4.0-10’2мкм.
Стандартная неопределенность, оцененная по типу В. ив составляет:
- в диапазоне от 0.001 до 50 мкм - 1,4-Ю’3мкм:
- в диапазоне от 0.0015 до 3 мкм - 1,3-103мкм;
- в диапазоне от 0.025 до 0.1 мкм - 1,2-103мкм;
- в диапазоне от 1до 3000 мкм - 1.3 Ю ’2мкм.
Суммарная стандартная неопределенность ис составляет:
- в диапазоне от 0.001 до 50 мкм - 1.4-103мкм;
- в диапазоне от 0.0015 до 3 мкм - 1.3 10’3мкм;
- в диапазоне от 0.025 до 0.1 мкм - 1,9-103мкм;
- в диапазоне от 1до 3000 мкм - 4.2-10’2мкм.
Расширенная неопределенность U составляет;
- в диапазоне от 0.001 до 50 мкм - 4,2-103мкм;
- в диапазоне от 0.0015 до 3 мкм - 3.9 103мкм;
- в диапазоне от 0.025 до 0.1 мкм - 5,7-103мкм;
- в диапазоне от 1до 3000 мкм - 12,6-102мкм.
2.6 Для обеспечения воспроизведения единицы длины в области измерений параметров
шероховатости Rmax. Rz и Ra с указанной точностью должны быть соблюдены правила хранения и
применения ГЭТ. утвержденные в установленном порядке.
2.7 ГЭТ применяют для передачи единицы длины в области измерений параметров
шероховатости Rmax. Rz и Ra вторичным эталонам методом прямых измерений.
3 Вторичные эталоны
3.1 В качестве эталонов-копий используют оптические профилометры в диапазоне параметров
шероховатости Rmax. Rz от 0,001 до 400 мкм и Ra от 0.001 до 100 мкм.
3.2 Средние квадратические отклонения суммарной погрешности Sr результата сличений
эталонов-копий с ГЭТ при 20 независимых измерениях не должны превышать (3.3 % + 0.1 нм) нм в
диапазоне от 0.001 до 400 мкм.
3.3 Эталоны-копии применяют для передачи размера единицы рабочим эталонам 1-го разряда
методом прямых измерений и методом сличений с помощью компаратора.
3.4 В качестве вторичных эталонов применяют наборы мер, выполненные в виде плоско
параллельных пластин с неровностями периодического профиля на рабочей поверхности в
диапазоне параметров шероховатости Rmax, Rz от 0.001 до 1000 мкм и Ra от 0.001 до 400 мкм.
3.5 Средние квадратические отклонения суммарной погрешности Sz результата сличений
вторичных эталонов с ГЭТ при 20 независимых измерениях не должны превышать 1% в диапазоне от
0.001 до 0.1 мкм; 0.7 % в диапазоне от 0.1 до 1мкм и от 0,35 % до 0.04 % в диапазоне от 1до 1000 мкм.
3.6 Вторичные эталоны применяют для передачи размера единицы рабочим эталонам 1-го
разряда методом прямых измерений и методом сличений с помощью компаратора.
4 Рабочие эталоны
4.1 Рабочие эталоны 1-го разряда
4.1.1 Вкачестверабочихэталонов1-горазрядаприменяютэталонныеприборы
(микроинтерферометры, интерференционные микровысотомеры, контактные профилометры) и
эталонные меры шероховатости.
4.1.2 Пределы допускаемых относительных погрешностей дП рабочих эталонов 1-го разряда не
должны превышать 3% в диапазоне от 0.001 до 0.1 мкм. 2%в диапазоне от 0.1 до 1 мкм и
составлять от 1 % до 0.02 % в диапазоне от 1.0 до 3000 мкм.
4.1.3 Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 2-го разряда
методом прямых измерений.
2