ГОСТ 8.645—2014
- для мнимой части к (главный показатель поглощения) от 0,01 до 8,0.
3.4 Государственный первичный эталон обеспечивает воспроизведение единиц со средним
квадратическим отклонением результата измерений, не превышающим 0,001 для действительной
части п и 0,002 для мнимой части к при 50 независимых измерениях.
Неисключенная систематическая погрешность не превышает 0,0007 для действительной части п
и 0,0004 для мнимой части к.
Стандартная неопределенность:
оцененная по типу А - и А(п) - 0,001 ,и д (к ) =
0,002
;
оцененная по типу В - и в (п) = 0,0007 , и в ( к ) = 0,0004 ;
Суммарная стандартная неопределенность:
ис (и) = 0,001 , ис (к) = 0,002.
Расширенная неопределенность при коэффициенте охвата К =2:
Up (n) =
0,002
,
Up(k) =
0
,
004
.
3.5 Для обеспечения воспроизведения единиц комплексного показателя преломления с указан
ной точностью следует соблюдать правила содержания и применения эталона, утвержденные в уста
новленном порядке.
3.6 Государственный первичный эталон применяют для передачи единиц комплексного показа
теля преломления рабочим эталонам 1-го разряда методом прямых измерений.
4 Рабочие эталоны
4.1 Рабочие эталоны 1-го разряда
4.1.1 В качестве рабочих эталонов 1-го разряда применяют меры комплексного показателя пре
ломления однослойные в виде однослойных пленок из различных материалов, нанесенных на под
ложки, в диапазонах для действительной части п от 0,5 до 5,0 и для мнимой части к от 0,01 до 8,0, и
эталонные установки в виде многоугловых спектральных эллипсометров в диапазонах для действи
тельной части п от 0,5 до 5,0 и для мнимой части к от 0,01 до 8,0.
4.1.2 Доверительные абсолютные погрешности рабочих эталонов 1-го разряда 5 при доверитель
ной вероятности р = 0,95 составляют для действительной части п 0,0025 и для мнимой части к 0,0045.
4.1.3 Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для передачи единиц рабочим эталонам 2-го
разряда и рабочим средствам измерений методом прямых измерений.
4.2 Рабочие эталоны 2-го разряда
4.2.1 В качестве рабочих эталонов 2-го разряда применяют меры комплексного показателя пре
ломления многослойные в виде многослойных пленок из различных материалов, нанесенных на под
ложки, в диапазонах для действительной части п от 0,5 до 5,0 и для мнимой части к от 0,01 до 8,0.
4.2.2 Доверительные абсолютные погрешности рабочих эталонов 2-го разряда 5 при доверитель
ной вероятности р = 0,95 составляют для действительной части п 0,003 и для мнимой части к 0,005.
4.2.3 Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для передачи единиц рабочим средствам изме
рений в виде эллипсометров, спектральным рефлектометрам и спектрофотометрам, с возможностью
измерения п и к, методом прямых измерений.
5 Рабочие средства измерений
В качестве рабочих средств измерений применяют:
- эллипсометры с диапазонами измерений для действительной части п от 0,5 до 5,0 и для мни
мой части к от 0,01 до 8,0.
Пределы допускаемой абсолютной погрешности Д измерений составляют для действительной
части п от 0,004 до 0,005 и для мнимой части к от 0,01 до 0,03;
- спектральные рефлектометры с диапазоном измерения для действительной части п от 0,5 до
5,0 и для мнимой части к от 0,01 до 8,0.
Пределы допускаемой абсолютной погрешности А измерений составляют для действительной
части п от 0,01 до 0,02 и для мнимой части к от 0,02 до 0,03;
- спектрофотометры, с возможностью измерения п и к, с диапазоном измерения для действи
тельной части п от 0,5 до 5,0 и для мнимой части к от 0,01 до 8,0.
Пределы допускаемой абсолютной погрешности А измерений составляют для действительной
части п от 0,01 до 0,03 и для мнимой части к от 0,01 до 0,03.
2