ГОСТ 8.645—2014
М Е Ж Г О С У Д А Р С Т В Е Н Н Ы ЙС Т А Н Д А Р Т
Государственная система обеспечения единства измерений
ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ КОМПЛЕКСНОГО
ПОКАЗАТЕЛЯ ПРЕЛОМЛЕНИЯ
State system for ensuring the uniformity of measurements.
State verification schedule for means of measuring
of the complex refractive index
Дата введения — 2015—07—01
1 Область применения
Настоящий стандарт распространяется на государственную поверочную схему для средств из
мерений комплексного показателя преломления Yl — Yl —lk (см. рисунок А.1 приложения А) и уста
навливает порядок передачи единиц комплексного показателя преломления от государственного
первичного эталона с помощью рабочих эталонов 1-го и 2-го разрядов рабочим средствам измерений с
указанием погрешностей и основных методов передачи размера единиц:
п - показатель преломления (действительная часть) по ГОСТ 7601;
к - главный показатель поглощения (мнимая часть) по ГОСТ 7601.
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте применена нормативная ссылка на следующий стандарт:
ГОСТ 7601—78 Физическая оптика. Термины, буквенные обозначения и определения основных
величин.
П р и м е ч а н и е - При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылоч
ных стандартов в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агент
ства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодному информационному
указа телю «Национальные стандарты», который опубликован по состоянию на 1января текущего года, и по
выпускам ежемесячного информационного указателя «Национальные стандарты» за текущий год. Если
ссылочный стан дарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует
руководствоваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то
положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.
3 Государственный первичный эталон
3.1Государственный первичный эталон применяют для воспроизведения и хранения единиц
комплексного показателя преломления и передачи единиц.
с помощью рабочих эталонов рабочим средствам измерений3.2 Государственный первич
ный эталон состоит:
- из цифрового спектрального эллипсометра;
- эталонных мер комплексного показателя преломления однослойных и многослойных в виде
плоских супергладких подложек с пленками различной толщины из разных металлов, полупроводни ков
и диэлектриков, а также массивных заготовок из кремния и других материалов - для контроля
стабильности эталона;
- интерференционного компьютерного профилометра для контроля плоскостности рабочей по
верхности эталонных мер;
- автоматизированного интерференционного микроскопа для контроля параметров шероховато
сти супергладких рабочей поверхности эталонных мер;
- цифровой метеостанции для измерения параметров окружающей среды;
- системы сбора и обработки измерительной информации на базе персональной ЭВМ.
3.3Диапазон значений комплексного показателя преломления, 72 =72 ~ i k , в котором воспро
изводятся единицы, составляет:
- для действительной части п (показатель преломления) от 0,5 до 5,0;
Издание официальное
1