ГОСТР ИСО 27895-2013
УДК 621.643-982:006.354ОКС 23.160ОКП 36 4800
Ключевые слова: вакуумная технология, вакуумные клапаны, испытания, напуск газа, масс-
спектрометрический течеискатель. герметичность, поток натекания воздуха, перепад давления,
измерения, рабочая температура
Ю