ГОСТ Р МЭК 60793-1-45-2013
£
s
о
о
8
5
10
т
9
,
5
--
2
9
--
о.
8
,
5
--
с
1
I
8--
ч>
N=
145:
отклонение = -0,005:
среднеквадратичное
отклонение, полученное
из отклонений отдельных
элементов группы =0.086:
а
- - ^ = 0.007;
8=0.019
7,5--
7,588,599,5
10
ДМП. измеренный методом переменной апертуры в дальнем поле, мхм
Рисунок D.4 - Пример проверки достоверности результатов измерений. Сравнение методов
Парную разность
d
между значениями, полученными при использовании данного метода и
основных методов, рассчитывают для каждого образца, изменяя индекс / в диапазоне от 1 до
N.
Рассчитывают гистограмму, образуемую из этих парных разностей, среднего значения
d
и
стандартного отклонения
<гл
этих разностей. Эмпирическую точность выражают формулой
<
+
Н
71 27
г
°<3»
П р и м е ч а н и е - Если значение
В
слишком велико, т.е. больше ожидаемого значения между двумя
инструментами, использующими другие методы, отличные от указанных в настоящем стандарте, рекомендуется
провести уточнение уравнений или процедуры измерений. Типовое максимальное значение
В
равно 0.1 мкм.
18