ГОСТ РИСО 13695—2010
Введение
к международному стандарту ИСО 13695:2004 «Оптика и фотоника.
Лазеры илазерные установки (системы). Методы измерений
спектральных характеристик лазеров»
Спектральные характеристики лазера, такие как максимальная (пиковая) длина волны или ширина
спектральной линии, являются важными для его различных возможных применений. Примерами служат
специфические требования к спектральным характеристикам лазеров, применяемых в интерферомет
рии и литографии.
Вданном стандарте приведены определения основных параметров, описывающих спектральные
характеристики лазера, и рекомендованы методики измерений этих параметров для распространенных
типов лазеров.
Допустимый уровень неопределенности измерений длины волны зависит от предполагаемого
применения лазера. Следовательно, выбор аппаратуры, методики измерений и оценки их результатов
предопределен тремя классами точности выполняемых спектральных измерений. С целью унификации
способов представления результатов измерений спектральных характеристик в стандарт включен об
разец протокола измерений.
v