ГОСТ РИСО 13695—2010
В.1.5 Монохроматор с дифракционной решеткой скользящего падения
Угол скользящего падения штриховых дифракционных решеток зависит от наклона штрихового рисунка отно
сительно поверхности подложки. Этот угол аи соответствует углу падения, обеспечивающему максимальную эф
фективность дифракции излучения в первый порядок. Его ассоциируют с длиной волны скользящего падения
при которой эффективность максимальна для нормально работающего монохроматора:
2stn ай * Л/Х8.
Производители указывают некоторые пределы изменения эффективности дифракции в зависимости от дли
ны волны. Например:
S = 0.5 для /. = 2/3>.„ и >.= 3/2 >.а.
S = 0.9 для ). = лв.
Более того, решетка скользящего падения может быть использована для дифракции излучения в высшие по рядки.
Зависимость эффективности от угла неизменна, поэтому оптимальную эффективность всегда достигают
при Xffk.
Практическая разрешающая способность монохроматора этого типа
Яр, * *ГрЯГ, = kFqNLr
Практически достигаемые пределы спектрального диапазона прибора также существуютдля штриховых мо
нохроматоров, но они зависят от порядка дифракции:
■ 2slnи
kNK>«
= 2sm anm.
В.2 Выбор монохроматора
При выборе монохроматора следует определить:
- требуемую точность определения длин волн;
- разрешающую способность, необходимую для определения ширины спектральной полосы.
При оценке неопределенности полученных значений длин волн необходимо учитывать абсолютную погреш
ность показаний счетчика или дисплея, а также неопределенность позиционирования. Последняя обычно состав
ляет 1/6 эффективной ширины полосы А>.„. получаемой из выражения для практической
разрешающей способности (см. В.1.3). Абсолютная погрешность отсчетов зависит от качества конструкции
монохроматора (его механической прочности), и ее определяют (корректируют) при калибровке (см. В.З).
В.З Калибровка монохроматора
Калибровка является обобщающей частью методики измерений. Ее результаты должны быть внесены в про
токол измерений.
В соответствии с инструкцией по эксплуатации монохроматора следует производить его периодическую ка
либровку. При этом определяют значения Л>.„ (или коэффициента (показателя) качества Я„) и погрешность отсче та.
18