ГОСТ 8.593—2009
4.2Допускается применятьдругие средства поверки, точность которыхсоответствуеттребовани
ям настоящегостандарта.
5 Требования к квалификации поверителей
Поверкумикроскоповдолжны проводитьштатные сотрудники метрологической службы предприя
тия. аккредитованнойв установленном порядке на правоповеркисредств измерений. Сотрудникидолж
ны иметь высшее образование, профессиональную подготовку, опыт работы со сканирующими
зондовыми атомно-силовыми микроскопами и знать требования настоящегостандарта.
6 Требования безопасности
6.1 При поверкемикроскоповнеобходимособлюдатьправилаэлектробезопасностии требования
к обеспечению безопасности на рабочих местах по ГОСТ 12.2.061.
6.2 Рабочие места поверителей должны быть аттестованы по условиям труда в соответствии с
требованиями трудового законодательства.
7 Условия поверки и подготовка к ней
7.1 При проведении поверки микроскопадолжны быть соблюдены следующие условия:
- температура окружающей среды............................................(20 i 3) °С;
- относительная влажность воздуха.........................................не более 80 %;
- атмосферноедавление............................................................(100 *4) кПа;
- напряжение питающей сети.......................................................(220 ♦.22) В;
- частота питающей сети...........................................................(50.0 ± 0.4) Гц.
7.2 Помещение (зона), в котором размещают микроскоп и средства его поверки, должно быть в
эксплуатируемом состоянии иобеспечиватьклассчистоты не болеекласса8 ИСО повзвешенным в воз
духе частицам с размерами 0.5 и5 мкм и концентрациями, определенными по ГОСТ ИСО 14644-1.
7.3 Подготовку к поверке микроскопа проводятследующим образом:
- выбирают для поверки микроскопа рельефную меру нанометрового диапазона с трапецеидаль
ным профилем элементов (далее — рельефная мера), линейные размеры и материал для изготовле
ния которой соответствуют требованиям ГОСТ 8.592. Рельефная мера должна быть поверена по
ГОСТ8.591. Сечение выступарельефной меры приведено на рисунке 1;
- в качестве исследуемого элемента используют выступ, для которого в паспорте (формуляре) на
меру приведены значения проекции боковой грани выступа на плоскость нижнего основания а. ширины
нижнегооснованиявыступа Ьри высоты выступа h.В зависимостиотзначенияожидаемогоэффективно
го радиуса зонда микроскопа гиспользуют рельефную меру, для которой
*
л
Рисунок 1 — Сечение исследуемого элемента рельефной меры
(
1
)
3