ГОСТ Р ИСО 16063-11—2009
1— опорное зеркало. 2 — подвижная система вибростеида; 3 -• акселерометр; 4 — имитатор; 5 — светоделитель, в —поляри
затор. 7— лазер; В— призма Волластона. 9 —фотодетекторы
Рисунок 4 — Лазерный интерферометр с квадратурным выходом
Лазерный интерферометр настраивают так. чтобы его выходные квадратурные сигналы ц, и и2
были в пределах допусков, указанных в 3.6.
После настройки остальной аппаратуры проводят измерения модуля и фазового сдвига коэффи
циента преобразования и при заданных значениях частоты вибрации и амплитуды ускорения (см. раз
дел 5) следующим образом.
Акселерометр должен совершать гармонические колебания. Амплитуда перемещения должна
бытьдостаточно большой, чтобы обеспечивать, по крайней мере, образование одной интерференцион
ной полосы.
П р и м е ч а н и е 1 — При амплитудах перемещения менее 0.5 мкы погрешность измерений, обусловлен
ная изменениями квадратурных сигналов в пределах допусков, установленных в 3.6. не будет превышать 0.3 % для
модуля коэффициента преобразования и 0.3‘ для фазового сдвига. Уменьшить погрешность можно путем более
тщательной регулировки для достижения значений, меньших чем установлено в 3.6 (см. (8)). или применением
про цедуры коррекции {см. [9]).
П р и м е ч а н и е 2 — Чтобы измерить модуль и фазовый сдвиг комплексного коэффициента преобразова
ния акселерометра при амплитудах перемещения в нанометровом диапазоне, метод синус-аппроксимации может
быть применен с использованием соответствующей гетеродинной техники, как указано в (10J и [11]- Это позволяет
проводить калибровку при средних уровнях амплитуд ускорения (например. 100 м/с2) на высоких частотах вибрации
(например. 20 кГц).
П р и м е ч а н и е 3 — Чтобы повысить эффективность метода, может быть использована процедура умно
жения значений перемещения или фазовой модуляции на весовую функцию окна (см. (12)). если при этом будут со
блюдены требования к неопределенности измерений, установленные в разделе 2.
9.3 Сбор данных
Частоты среза низкочастотных и, если используются, высокочастотных фильтров должны быть
выбраны таким образом, чтобы искажающие влияния от низкочастотной и высокочастотной фильтра
ции на результаты калибровки находились в пределахдопусков (см. [8]). Частота выборки должна быть
не ниже удвоенной максимальной частоты в спектре сигнала в соответствии с теоремой Найквиста-Ко
тельникова.
Частота выборки выходного сигнала акселерометра может быть равна или ниже частоты выборки
выходных сигналов интерферометра. Начало и конец выборки всех трех сигналов должны быть синхро
низированы. а для выходных сигналов интерферометра процессы выборки должны быть точно синхро
низированы. для чего используют один и тот же генератор тактовых импульсов.
Выборку квадратурных сигналов интерферометра осуществляют на периоде измерений Tmoai.
Интервал выборки д*« tt-1,_, поддерживают постоянным. В результате процедуры выборки получают
ю