ГОСТ Р 53177—2008
где Uc — выходной сигнал течеискателя при подключенной калиброванной течи. У;
У— произвольная единица измерения, пропорциональная ионному току;
1/ф— фоновый сигнал течеискателя. подключенного к вакуумной камере, при отключенной калиб
рованной течи. У;
QKт — пересчитанный поток пробного вещества калиброванной течи при температуре испытания.
м3дПа/с
6.2 Определение порога чувствительности к потоку (минимального потока пробного
вещества, регистрируемого течеискателем)
6.2.1 Определение шума и дрейфа вакуумной установки
Определяют значение фонового сигнала вакуумной установки по показаниям течеискателя 7.
В качестве дрейфа Ua принимают изменение аппроксимированного (методом наименьших квад
ратов) фонового сигнала, отнесенное к 60 с.
Шумпринимают равным корню квадратному из дисперсии фонового сигнала, измеренного
10 раз через каждые 60 с.
П р и м е ч а н и я
1 Одиночный заброс выходного сигнала, зарегистрированный течеискателем 7 е процессе проведения
измерения, не учитывают. При появлении повторных забросов проводимые измерения прекращают и повторно
начинают измерения.
2 В случае наличия резины или других полимеров в клапане 2 или в месте присоединения течи определе
ние значения фонового сигнала вакуумной установки проводят без калиброванной течи 1с установленной на ее
месте заглушкой и при открытом клапане 2. При отсутствии резины или полимеров определение значения фоно
вого сигнала установки осуществляют при наличии калиброванной течи и закрытом клапане 2.
6.2.2 Минимальный регистрируемый сигнал UUtlH, У. вычисляют по формуле
^ м и и< 2 )
где(3— измерительный коэффициент;
иш — шум установки. У;
П р и м е ч а н и е — Измерительный коэффициент |$определяет относительную погрешность определения
Uuи» . равную
10 0 4
$.
Измерительный коэффициент (»рекомендуется выбирать равным 2.
6.2.3 Порог чувствительности к потоку Омии. м3■Па/с. вычисляют по формуле
6.3Определение порога чувствительности к потоку (максимального потока пробного
вещества, регистрируемого течеискателем)
6.3.1 К вакуумной камере 3 (см. рисунок 1) подключают калиброванную течь 1 или подают про
бное вещество на вход натекателя 6.
П р и м е ч а н и е — Натекательдолжен иметь микрометрическую градуировку регулируемой проводимости.
6.3.2 Зависимость чувствительности от потока пробного вещества определяют по формуле (1).
Значение потока изменяется с помощью натекателя 6. устанавливая не менее трех равномерно распо
ложенных величин в каждом диапазоне измерения потоков.
6.3.3 В качестве максимального потока принимают значение, при котором чувствительность
уменьшается на порядок по сравнению с ее значением при браковочном признаке объекта.
6.4 Определение времени реакции течеискателя
6.4.1 При закрытом клапане 2 к вакуумной камере 3 (см. рисунок 1) подсоединяют калиброван
ную течь 1. Открывают клапан 11 ив течение не менее 15 мин вакуумным насосом 10откачивают внут
реннюю полость трубопроводов между калиброванной течью 1и клапаном 2 до остаточного давления
не более 10"’ Па. После достижения установленного давления откачку прекращают и закрывают кла
пан 11.
6.4.2 Откачиваютдо предельного давления вакуумную камеру 3 через клапан 8 дополнительной
вакуумной системой 9 при открытом клапане 2 и подключенном течеискателе.
4