УДК 621.521:006.354Группа 182
М Е Ж Г О С У Д А Р С Т В Е Н Н Ы ЙС Т А Н Д А Р Т
Оборудование вакуумное
НАСОСЫ ВАКУУМНЫЕ МЕХАНИЧЕСКИЕ
Методы испытаний
Vacuum equipment.
Mechanical vacuum pumps. Test methods
M КС 23.160
ОКП 62 9448
ГОСТ
25663-83
Дата введения 01.01,84
Настоящий стандарт распространяется на механические вакуумные насосы объемного дей
ствия. применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изде
лий электронной техники, работающие при выпускном давлении, равном атмосферному, и создаю
щие на входе давление менее 1000 Па. и устанавливает методы измерения предельного остаточного
давления и быстроты действия.
Стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 3409—81.
Термины, применяемые в настоящем стандарте, и их пояснения - по ГОСТ 5197 и
ГОСТ 26790.
(Измененная редакция, Изм. № 1, 2).
1. МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ПРЕДЕЛЬНОГО ОСТАТОЧНОГО ДАВЛЕНИЯ
1.1. Метод измерения предельного остаточного давления основан на откачивании газа из спе
циальной измерительной камеры испытуемым насосом с последующим измерением давления в ка
мере через равные промежутки времени при постоянной температуре.
1.2. Испытательная установка представлена на черт. I.
1.3. Измерительная камера представлена на черт. 2.
/ — ncnuiycM un насос: 2 — измерительная клме
ра: .? — измерительные преобразователи лаплс
имя; 4 — натекатель: S — напускная трубка
Черт. I
I — направление потока газа: 2 — напускная |руб-
ка: J — место подсоединения измерительного пре-
образования давления
Черт. 2
Издание официальноеПерепечатка воспрещена
© Издательстно стандартов. 1983
© СТАНДАРТИНФОРМ, 2010