ГОСТ 25462—S3
Стр.
4
*
»
\
’л
Измерительные преобразователи должны бытьрасположены
на расстоянии 0,5 диаметра камеры от входного фланца камеры.
3.1.4.Вакуумметры, используемые для измерения давления в
измерительной камере, должны обеспечивать измерения с отно
сительной, погрешностью не более:
±10%—при измерении давлений свыше 1 На:
±20%»»» и диапазоне 1—10~* Па.
.3.1.5. Измерители потоков газа должны обеспечивать измере
ние с относительной погрешностью:
=: 3% —для потоков более I Вт;.
± 5 %от I до 10-4 Вт;
±10%» ■»менее 10-4Вт.
3.1.6. При измерении следует применять сухой воздух или дру
гой сухой газ.
Перед сборкой установки все поверхности, находящиеся в ваку
уме, должны быть очищены, высушены и обезжирены.
Для сокращения времени достижения предельного остаточного
давления допускается прогревать камеру до максимально допус
каемой температуры.
3.1.7. Измерение\следует проводить при следующих климати
ческих условиях:
температура окружающей среды (288—298) К±1 К;
относительная влажность не более 80% при температуре 298 К;
атмосферное давление 8,5-104—I • 105 Па.
3.1.8. .Предельное остаточное давление следует измерять в по
следовательности. приведенной ниже:
включить насос (черт. 1) и вывести его на рабочий режим сог
ласно инструкции по эксплуатации;
откачать, из измерительной камеры газ при закрытом клапа
недо установления в ней предельного остаточного давления.
Предельное остаточное давление считают установленным, если
в течение 1 ч давление на входе в насос меняется в пределах
погрешности измерительного прибора (пи. 3.1.3 и 3.1.4).
3
Р
.
е
1
з
.9
у
.
ль
О
т
ф
ат
о
ы
рмл
и
е
з
н
м
и
е
е
ре
р
н
е
и
зу
й
л
о
ь
ф
та
о
т
р
о
м
в
л
и
я
з
ю
м
т
ер
п
е
р
н
о
и
т
й
о
.
колом, в котором ука
зывают:
типы используемых измерительных приборов;
мощность нагревателя насоса;. ,
входную и выходную температуры охлаждающей воды;
скорость потока охлаждающей воды;
температуру’ окружающей среды;
марку и объем рабочей жидкости, применяемой в насосе;
тип уплотнителя на входе насоса;
тип и быстроту действия форвакуумного насоса;
выпускное давление диффузионного насоса.