УДК 621J21 : 006.351Группа Г82
Г О С У Д А Р С Т В Е Н Н Ы ЙС Т А Н Д А Р ТС О Ю З АС С Р
Оборудование вакуумное
НАСОСЫ ВАКУУМНЫЕ ДИФФУЗИОННЫЕ
Основные параметры. Тонические требованнв.
Методы испытаний
, Vacaum equipment. Dl!iusion vacuum pumps.
Bask parameters Technical requirements.
•Test method^
ОКП 62 9148
Постановлением Государственного иомитета СССР по стандартам от 3 марта
1983 г. HS 1067 срои действии установлен
с 01.01.3i
до 01.01.89
Несоблюдение стандарта прсспедувтсв по закону
•
Настоящий стандарт распространяется на диффузионные ва
куумные насрсы с водяным охлаждением, применяемые в вакуум
ных*системах технологического оборудования длй производства
изделий электронной техники, предназначенные для откачивания
из герметичных объемов воздуха, газон и парогазовых смесей, пред
варительно очищенных от капельной влаги и механических за
грязнений и неагрессивных к материалам конструкций.
Стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 3407—81.
Пояснения терминов, применяемых в настоящемстандарте,
приведены в справочном приложении.
(Измененная редакция, Изм. Л* I).
1. ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ
1.1.Основные параметры насосов должны соответствовать ука
занным в таблице.
ГОСТ
2 5 6 6 2 2
—
8 3
*
(СТ СЭВ
3407
—
81
)
Издание официальноеПерепечатка воспрещена
*
Переиздание (июнь №84 г.) с Изменением
Л§ /.
у/вержденным в апрем 1984 г. (ИУС М 8 84).
Ш’
Издательство стандартов, 1985