14
Черт. 2
1 - масс-спектрометрический течеискатель; 2, 3, 5, 8, 10 - вентили; 4 - испытываемое соединение; 6 - вакуумная камера; 7, 11 - вакуумметры; 9, 12, 18 - вакуумные насосы
Схема для испытаний на герметичность способом опрессовки в камере масс-спектрометрического метода
Черт. 3