13

Черт. 5
ПРИЛОЖЕНИЕ 2
Справочное
РЕКОМЕНДУЕМЫЕ СХЕМЫ УСТАНОВОК
Схема установки для испытаний на герметичность способом сравнения с потоком от калиброванной течи

Черт. 1
1, 10 - вакуум насосы; 3, 5, 7, 9, 11 - вентили; 2, 4 – вакуумметры; 6 - испытываемое соединение; 8 - калиброванная течь
Схема установки испытаний на герметичность способом вакуумной камеры масс-спектрометрического метода