Изделия микросистемной техники
Элементы чувствительные микроэлектромеханических преобразователей физических величин
Общие технические условия Изделия микросистемной техники
Элементы чувствительные микроэлектромеханических преобразователей физических величин
Общие технические условия (Настоящий стандарт распространяется на чувствительные элементы, разрабатываемые и поставляемые в качестве компонентов микроэлектромеханических преобразователей физических величин производственно-технического назначения