ГОСТ Р 8.627— 2007
Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы ЙС Т А Н Д А Р ТР О С С И Й С К О ЙФ Е Д Е Р А Ц И И
Государственная система обеспечения единства измерений
ИЗМЕРЕНИЕ КОЭФФИЦИЕНТОВ ЗЕРКАЛЬНОГО И ДИФФУЗНОГО ОТРАЖЕНИЯ В ДИАПАЗОНЕ
ВАКУУМНОГО УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ
Методика выполнения измерений
State system tor ensuring the uniformity of measurements.
Measurement of coefficients of regular and diffuse trasrmttance of ultraviolet radiation. Methods for measurements
Дата введения — 2007— 07— 01
1 Область применения
Настоящий стандарт распространяется на методику выполнения измерений коэффициентов зер
кального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового {далее — ВУФ) излуче
ния, используемых для определения оптических констант материалов итонких пленок, коэффициентов
отражения зеркал и эффективности дифракционных решеток, а также при контроле технологических
процессов в микроэлектронике.
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
ГОСТ 8.195—89 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная
поверочная схема для средств измерений спектральной плотности энергетической яркости, спектраль
ной плотности силы излучения и спектральной плотности энергетической освещенности в диапазоне
длин волн 0.25 -25.00 мкм; силы излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн
0.2 - 25.0 мкм
ГОСТ 8.197—2005 Государственная система обеспечения единства измерений. Государствен
ная поверочная схемадля средствизмеренийспектральной плотности энергетической яркостив диапа
зонедлин волн от0,04до 0.25 мкм
ГОСТ 8.207—76 Государственная система обеспечения единства измерений. Прямые измере
ния с многократными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положе
ния
ГОСТ 8.552—2001 Государственная система обеспечения единства измерений. Государствен
ная поверочная схема для средств измерений потока излучения иэнергетической освещенности в диа
пазонедлин волнот 0.03до 0,40 мкм
П р и м е ч а н и е — При попьзовании настоящим стандартом цепесообразно проверить действие ссылоч-
ных стандартов в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального
агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информа
ционному указателю «Национальные стандарты», который опубликован посостоянию на 1 января текущего года, и
по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году.
Если ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководство
ваться замененным (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в
котором дана ссылка на него, применяют в части, не затрагивающей эту ссылку.
3 Требования к погрешности измерений
Пределдопускаемой погрешности результатов измерений коэффициента зеркальногоотражения
непревышает10 %в диапазонедлинволн0,12 + 0.20мкм и15% в диапазонедлин волн0.03 +0.12мкм.
Издание оф ициальное
1