ГОСТ 8.661—2018
МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙСТАНДАРТ
Государственная система обеспечения единства измерений
ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ПАРАМЕТРОВ
ОТКЛОНЕНИЯ ОТ ПЛОСКОСТНОСТИ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ РАЗМЕРОМ ДО 200 мм
State system for ensuring the uniformity of measurements. State verification schedule
for instruments measuring surface flatness parameters of optical surfaces up to 200 mm
Дата введения —2018—09—01
1 Область применения
Настоящий стандарт распространяется на Государственный первичный специальный эталон
(ГПСЭ) единицы длины отклонений от плоскостности оптических поверхностей размером до 200 мм и
государственную поверочную схему для средств измерений параметров отклонений от плоскостности
EFE (максимальное отклонение от плоскостности) оптических поверхностей размером до 200 мм и
устанавливает назначение ГПСЭ, комплекс основных средств измерений, входящих в его состав,
основные метрологические характеристики эталона и порядок передачи единицы длины от ГПСЭ при
помощи вторичных и рабочих эталонов средствам измерений с указанием погрешностей и основных
методов поверки.
2 Государственный первичный специальный эталон
2.1 ГПСЭ предназначен для воспроизведения, хранения единицы длины в области измерений
параметров отклонений от плоскостности EFE оптических поверхностей размером до 200 мм и пере
дачи единицы при помощи вторичных и рабочих эталонов средствам измерений с целью обеспечения
единства измерений.
2.2 В основу измерений параметров отклонений от плоскостности EFE должна быть положена
единица, воспроизводимая указанным ГПСЭ.
2.3 ГПСЭ состоит из комплекса следующих средств измерений:
- автоматизированная фотоэлектрическая измерительная установка на базе интерферометра
Физо со специализированным программным обеспечением;
- комплект эталонных мер отклонений от плоскостности диаметром 100 мм и 200 мм.
2.4 Диапазон значений параметра отклонений от плоскостности EFE, воспроизводимого ГПСЭ,
составляет от 0,002 до 2,000 мкм.
2.5 ГПСЭ обеспечивает воспроизведение единицы длины в области измерений параметров от
клонений от плоскостности EFE:
- для оптических поверхностей размером до 100 мм со средним квадратическим отклонением
результата измерений S0, не превышающим 0,0004 мкм при 30 независимых наблюдениях, неисклю-
ченной систематической погрешностью 0 О, не превышающей 0,0005 мкм;
- оптических поверхностей размером до 200 мм со средним квадратическим отклонением резуль
тата измерений S0, не превышающим 0,0004 мкм при 30 независимых наблюдениях, неисключенной
систематической погрешностью 0 Оне превышающей 0,0015 мкм;
При этом расширенная неопределенность (к = 2) U составляет:
- для оптических поверхностей размером до 100 мм — 2,4 • 10~3 мкм;
- оптических поверхностей размером до 200 мм — 3,8 ■10-3 мкм;
Издание официальное
1