ГОСТ Р ИСО/МЭК 15426-1-2002
ПРИЛОЖЕНИЕ В
(обязательное)
Требования к верификации для первичных эталонных тестовых символов
Первичная верификация первичных эталонных символов относится к измерению с помощью устройства,
воспроизводящего методику типовых коммерческих верификационных устройств, и обеспечивает привязку к
национальным эталонам единиц коэффициента отражения и длины с погрешностью в десять раз меньшей, чем
для коммерческих верификационных устройств. Кроме того, устройство первичной верификации должно
обеспечивать воспроизводимость результатов в десять раз лучшую, чем типовые коммерческие верификацион
ные устройства. Обычно средством измерения для первичной верификации служит сканирующий микроден
ситометр высокого разрешения.
Измерение линейного расстояниядолжно базироваться на использовании штриховой меры, выполненной
на основе хрома, нанесенного на стекло, лазерного интерферометра или эквивалентного устройства, и должно
обеспечивать привязку к национальной эталонной мере длины, выполненной на основе хрома, нанесенного
на кварц.
Измерение коэффициента отражения должно базироваться на аналогоцифровом преобразовании с
высоким разрешением (> 10 разрядов) выходного напряжения детектора отраженного света и должно обеспе
чивать привязку к национальной эталонной мере коэффициента отражения.
Воспроизводимость результата измерения линейного расстояния должна быть в пределах + 0,5 мкм для
наихудшего случая ширины элемента при пересечении 39 элементов в пяти сканированиях по одному и тому же
пути сканирования. Воспроизводимость результата измерения коэффициента отражения должна быть в
пределах + 0,5 %для наихудшего случая при пересечении 19 пробелов и двух свободных зон в пяти сканиро
ваниях по одному и тому же пути сканирования.
8