ГОСТ ISO 16063-41-2014
Окончание таблицы А.З
/
Составляющая
стандартной
неопределенности
« ы
Источник неопределенности
Вклад в
неопределенность
“М
3
U
4
“
md
)
a
11Лу)
1W
s
5
u{
P D )
«5 O ’)
6
“ ( s R E
)
Влияниепомехвсигналенапряжения
(например. случайный шумв
фотоэлектрической цепи)
Влияние искажения движения на измерение
перемещения (например, общее искажение,
относительное движение световых пятен от
лазерных лучей на поверхности отражателя)
Влияние фазовых искажений на измерение
амплитудыперемещения(например,
фазовый шум сигналов интерферометра)
Остаточные интерференционные влияния на
измерение перемещения (функция
интерферометра)
"б (у )
7
" {
s f
.
)
Влияниеусловийокружающейсреды
(например, температуры)
“ 7(>’)
8
u { f F G
)
Измерениечастотывибрации[если
характеристикавибрации.измеряемой
калибруемым виброметром (например,
ускорение), отличается от характеристики,
измеряемой с помощью интерферометра
RE
9
l,(X
)
(например, перемещение)!
Остаточныевлиянияна
коэффициента преобразования
измерение
(например,
“ 9 0 ’)
случайныеэффектывповторных
измерениях: выборочные стандартные
отклонения среднего арифметического)
Примечание - Источники неопределенности могут определяться и нумероваться иным способом,
чем в данной таблице, при условии, что каждый фактор, значительно влияющий на результат измерения,
учтен должным образом.
А.3.2Вычисление
Uref(v)
дляметода 3 сизвестнойнеопределенностью
измерения скорости интерферометром
Вычисление выполняют аналогично п. А.1 с использованием составляющих неопределенности,
указанных в таблице А.4
Т а б л и ц а А . 4 - Составляющие неопределенности измерения (метод 3 с известной
неопределенностью измерения скорости интерферометром)_______________________________________
/
Составляющая
стандартной
неопределенности
« м
Вклад в
Источник неопределенностинеопределенность
1
UM
Скоростьвибрации(сизвестной
неопределенностью измерения)
“ i M
Частота сигнала вибрации (скорости)
«2 (>’)
Гармонические искажения
«зОО
Шум
«4
(у)
2
" ( / г )
3
“ (K D)
4
u(KN )
5
и(Кш
)
« s W
6
" ( К ш
)
Неравномерность вибрации поверхности, на
которой проводят измерения
Механическое движение интерферометра
" б Ы
7
“ ( * « )
Изменение температуры
“ 7(>’)
28