ГОСТ Р 53734.4.10— 2014
Оборудование с экранированием
Источник
Приемник
Земля
(опорная тонка)
Оборудование с двумя выводами
Приемник
Источник
Рисунок 2 — Соединение датчика с измерительным оборудованием
4.5 Проверочные сопротивления
Сборкадля проверки низкого сопротивления состоит из резистора 105Ом ± 1%, связанногосдву
мя металлическими контактными пластинами. Пластины должны быть такого размера иформы, чтобы
каждый электрод датчика контактировал только с одной пластиной: сами же пластины между собой не
контактируют. Пластины могут быть прикреплены кматериалу, обладающему такими же характеристи
ками. как и поверхность подложки образца. На рисунке 3 приведена возможная конфигурация сборки
для проверки сопротивления.
Сборка для проверки высокого сопротивления состоит из резистора 109Ом * 5 %, связанного с
двумя металлическими контактными пластинами. Пластины должны быть такого размера и формы,
чтобы каждый электрод датчика контактировал только с одной пластиной: сами же пластины между
собой не контактируют. Пластины могут быть прикреплены к материалу, обладающему такими же
характеристиками, как и поверхность подложки образца. На рисунке 3 приведена возможная конфигу
рация сборки для проверки сопротивления.
Значение сопротивления резисторов следует периодически контролировать. Результаты таких
измерений должны быть использованы для калибровки работы датчика.
4