ГОСТ Р 8.863-2013
НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Государственная система обеспечения единства измерений.
Средства измерений потока излучения и энергетической освещенности
в диапазоне длин волн 10-30 нм
Методика поверки
State system for ensuring the uniformity of measurements.
Insruments for measurement power and irradiance
in the wavelength range from 10 to 30 nm
Verification procedure
Дата введения -
1 Область применения
Настоящийстандартраспространяетсянасредстваизмерений
характеристик экстремального ультрафиолетового (далее - ЭУФ) излучения -
радиометры ЭУФ излучения, используемые для измерений потока излучения
(далее - ПИ) и энергетической освещенности (далее - ЭО) в диапазоне длин
волн 10-30 нм, и устанавливает методику их поверки .
Радиометры ЭУФ излучения обеспечивают в диапазоне длин волн 10 -
30 нм измерения потока излучения в динамическом диапазоне, нижняя
граница которого составляет не более 10Вт, верхняя - не менее 210 "Вт и
энергетической освещенности в динамическом диапазоне, нижняя граница
которого составляет не более 0,01 Вт/м2, верхняя - не менее 20 Вт/м2.
Межповерочный интервал - один год.
Издание официальное
1