ГОСТ IEC 60079-29-2-2013
А.5 Полупроводниковые датчики
Л.5.1 Общие положения
Принципработыполупроводниковыхдатчиковоснованна
измененииэлектропроводности,вызванномхемосорбциеймолекул
определяемого компонента на поверхности нагретого чувствительного
элемента, находящегося в воздухе. Содержание газа определяют путем
измерения изменения сопротивления чувствительного элемента.
Полупроводниковый материал, обычно оксид металла, например,
оксид олова,нанесенныйнаповерхностькерамическойподложки,
электрическинагреваетсядонесколькихсотенградусовЦельсия.
Электроды наносятся на поверхность методом ионной имплантации или
другим способом.
Дляобнаружениягазоввширокомдиапазонеконцентраций
используют полупроводниковые датчики, однако зависимость между
концентрацией определяемого компонента и сигналом датчика нелинейна,
чувствительность датчиков уменьшается с увеличением концентрации. Во
многих случаях, для работы полупроводниковых датчиков требуются
присутствие кислорода в пробе, а колебания влажности анализируемой
средыи изменениясодержаниякислорода могутповлиятьна их
чувствительность.
Некоторые полупроводниковые датчикипомимо горючих газов и
паров реагируют также на другие вещества.Датчики, как правило, не
являются избирательными и подвержены влиянию внешних факторов и
неопределяемых компонентов. Чувствительность датчиков к различным
горючим газам существенно различается.
201