ГОСТ РЕН 1822-4—2012
Приложение D
(справочное)
Испытание на проскок с помощью аэрозоля счастицами PSL
D.1 Основные положения
Субстанции, подобные жидким маслам, могут представить потенциальный
риск для контролируемых НЕРА и ULPA фильтров, используемых в чистых по
мещениях электронной, космической и других отраслях промышленности. Жид
кие частицы оседают и накапливаются в материале фильтра при проведении ис
пытаний, затем могут выделяться наружу при эксплуатации фильтра и оказать
влияние на технологический процесс. Не допускается использовать жидкие ча
стицы для контроля тефлоновых (PTFE) мембранных фильтров из-за особенно
стей этого материала
Все стандартные методы испытаний на проскок и оценки эффективности
фильтров и их классификация по стандартам ЕН 1822 (все части) основаны на ис
пользовании жидких частиц контрольных аэрозолей (DEHS, РАО, парафиновое
масло). Метод испытаний с применением жидких частиц прост и дает воспроиз
водимые результаты. Оттипа контрольного аэрозоля зависят методики испытаний
по стандартамЕН 1822 (все части), требования к приборам, стендам и статистиче
ским методам Тип аэрозоля влияет на результаты испытаний и классификацию
фильтров Поэтому невозможно просто заменить аэрозоль с жидкими частицами
56