ГОСТ Р ИСО/МЭК 15426-1-2002
ПРИЛОЖЕНИИ В
(обязательное)
Требования к верификации для первичных эталонных тестовых символов
Первичная верификация первичных эталонных символов относится к измерению с помощью устройства,
воспроизводящего методику типовых коммерческих верификационных устройств, и обеспечивает привязку к
национальным эталонам единиц коэффициента отражения идлины с погрешностью вдесять раз меньшей, чем
для коммерческих верификационных устройств. Кроме того, устройсгво первичной верификации должно
обеспечивать воспроизводимость результатов вдесять разлучшую, чем типовые коммерческие верификацион
ные устройства. Обычно средством измерения для первичной верификации служит сканирующий микроден-
ентометр высокого разрешения.
Измерение линейногорасстояния должнобазироваться на использовании штриховой меры, выполненной
на основе хрома, нанесенного на стекло, лазерного интерферометра или эквивалентного устройства, ндолжно
обеспечивать привязку к национальной эталонной мерс длины, выполненной на основе хрома,
нанесенного на кварц.
Измерение коэффициента отражения должно базироваться на аншюгошгфровом преобразовании с
высоким разрешением (г 10 разрядов) выходного напряжения детектора отраженного света и должно обеспе
чивать привязку к национальной эталонной мере коэффициента отражения.
Воспроизводимость результата измерения линейного расстояния должна быть в пределах ± 0,5 мкм для
наихудшего случая ширины элемента при пересечении 39 элементов в пяти сканированиях по одному и тому же
пути сканировании. Воспроизводимость результата измерения коэффициента отражения должна быть в
пределах ± 0,5
%
для наихудшего случая при пересечении 19 пробелов и двух свободных зон в пяти сканиро
ваниях по одному и тому же пути сканирования.
8