ГОСТ Р 8.723—2010
Т а б л и ц а 7 — Значения Ц>.) для контрольного источника — лазерной плазмы, тип IV
Длина волны >, нм
L M
Длина волны нм
Ц »
12.500.095
12.750.153
13.000.474
13.250.803
13.501.000
13.750,978
14.000.832
14.250.788
14.500.825
14.750.672
15.000.474
15.250.394
15.500.336
15.750.285
16.000.321
16.250.263
16.500.175
8.00 0.175
8.25 0.226
8.50 0.263
8.75 0.336
9.00 0.584
9.25 0.504
9.50 0.460
9.75 0.474
10.00 0.299
10,25 0.394
10.50 0.489
10.75 0.292
11.00 0.161
11.25 0,146
11.50 0.175
11.75 0.102
12.00 0.109
12.25 0.073
8.3.2 Определенно погрешности абсолютной чувствительности
Определение погрешности абсолютной чувствительности радиометров ЭУФ излучения в диапа
зоне длин волн от 10 до 30 нм проводят с использованием источника синхротронного излучения. Эта
лонное и поверяемое СИ ЭУФ излучения энергетической яркости поочередно устанавливают на
одинаковом расстоянии от излучателя и юстируют по углу для получения изображения излучающей
области источника. Показания эталонного СИ Г и поверяемого СИ ЭУФ излучения / регистрируют
поочередно пять раз. Значение абсолютной чувствительности S поверяемого СИ ЭУФ излучения рас
считывают по формуле
S = S’ ИГ,(5)
где S’ — значение абсолютной чувствительности эталонного СИ.
Определяют среднее арифметическое значение абсолютной чувствительности поверяемого
радиометра, суммарное СКО результата измерений с учетом погрешности эталонного радиометра по
формулам (1)—(3). Погрешность определения абсолютной чувствительностинедолжна превышать
10 %.
8.3.3 Определение погрешности, возникающей из-за отклонения коэффициента линейности
от единицы. Определение границ диапазона измерений энергетической яркости
Измерение коэффициента линейности радиометра ЭУФ излучения проводят для определения
границ диапазона измерений энергетической яркости (ЭЯ). Коэффициент линейности определяют по
отклонению значения абсолютной чувствительности СИ от постоянного значения в рабочемдиапазоне
измеряемой величины. Фиксируют ток источника синхротронного излучения /,. соответствующий
нижней границе диапазона измерений энергетической яркости, указанной в паспорте поверяемого СИ и
составляющий не более 103Вт/(м2 •ср). Увеличивают ток источника вдвое и регистрируют показания
поверяемого СИ /2. Измерения проводят пять раз. Определяют средние значения измеренных сигна
лов, CKO S0, суммарное СКО результатов измерений, рассчитывают коэффициент линейности
/С=(/, +/2уЗ/,<6)
и погрешность поверяемого СИ ЭУФ излучения (■%, вызванную нелинейностью чувствительности СИ:
в ь * 1 0 0 |К -1 |.(7)
При определении границ диапазона измерений энергетической яркости поверяемого СИ ЭУФ
излучения ток излучателя увеличивают таким образом, чтобы значение энергетической яркости увели
чилось на порядок. Измеряют значения сигналов и рассчитывают соответствующее значение погреш
ности 03. Измерения повторяют до достижения верхней границы диапазона измерений, указанной в
паспорте поверяемого СИ ЭУФ излучения и составляющей не менее 10е Вт/(м2 ср). По результатам
измерений определяют границы диапазона измерений энергетической яркости поверяемого радио
метра ЭУФ излучения, в пределах которого значение погрешности в 3не превышает 3 %.
6