ГОСТ Р 53334—2009
УДК 621:006.354ОКС 23.160Г82ОКП 36 4800
Ключевые слова: насосы вакуумные пароструйные, диффузионные насосы, эжекторные насосы, бус-
терные насосы, быстрота действия, измерительная камера, предельноеостаточноедавление, напуска
емый газ. вакуумметр, устройство для измерения потока газа
5