Стр. 2 ГОСТ 8.536—85
специальный интерферометр;
система обработки информации.
1.4. Диапазон значений единицы длины в области измерений
толщины покрытий, воспроизводимых установкой высшей точно
сти, составляет 1+-30 мкм.
1.5. Установка высшей точности обеспечивает воспроизведение
единицы длины в области измерений толщины покрытий со сред
ним квадратическим отклонением результата измерений S, не
превышающим 0,006 мкм. Неисключенная систематическая по
грешность 0 не превышает 0,009 мкм.
1.6. Для обеспечения воспроизведения единицы длины в об
ласти измерений толщины покрытий с указанной точностью долж
ны быть соблюдены правила хранения и применения установки
высшей точности, утвержденные в установленном порядке.
1.7. Установку высшей точности применяют для передачи
размера единицы длины в области измерений толщины покрытий
образцовым средствам измерений 2-го разряда методом прямых
измерений.
2. ОБРАЗЦОВЫЕ СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
2.1. Образцовыес р е д с т в аизмерений,заимст
вованные из других п ов е рочн ых схем
2.1.1. В качестве образцовых средств измерений, заимствован
ных из других поверочных схем, применяют образцовые плоско
параллельные концевые меры длины 1-го разряда по ГОСТ
8.020—75.
2.1.2. Образцовые плоскопараллельные концевые меры длины
1-го разряда применяют для поверки комплекса средств для по
верки мер толщины покрытий 1-го разряда и установок для
по
верки магнитных и вихретоковых толщиномеров диэлектрических
покрытий методом прямых измерений .
2.2. Образцовыес р е д с т в аизмерений1-гора з
ряда
2.2.1. В качестве образцовых средств измерений 1-го разряда
применяют комплекс средств для поверки мер толщины покры
тий в диапазоне 1—=-10000 мкм, состоящий из комплекта средств
для поверки мер толщины покрытий, интерферометра и профило-
графа.
2.2.2. Пределы допускаемых абсолютных погрешностей А об
разцовых средств измерений 1-го разряда составляют (0,05+
+ 0,01
h)
мкм, где
h
—толщина покрытия в мкм.
2.2.3. Образцовые средства измерений 1-го разряда применя
ют для поверки образцовыхсредств измерений2-го разряда и
рабочих мер толщины покрытий методом прямых измерений.