С. 666 ГОСТ 25645.146-89
Распределение концентрацииэлектронов для ®в Ю, марта,
VT
—12ч,
К
Р—3
И- 110нм
Н’200кн
12ч
05*.
}
_ 4.0+09
2 -
6.0+09
3
-
1,0+ 10
4
—
2
,
0+10
5 —
4,0+10:
Р — 2.0+11;
6
— 6,0+ 10;
Ю
— 4,0+11.
7 -8.0+10;
/ / - 6 .0 + 1 1 ;
8 -1.0+11:
/2 - 8 .0 + 1 1 ;
Чер7. 8
13—
1.0+12:
/ / — 2,0+ 12.