С. 70 ГОСТ Р МЭК 793-1—93
43.2.2.3.4. Калибровка устройства
Должна быть прозсдепа калибровка с целью измерения сте
пени преобразования, дающей перемещение сканирующегоуст
ройства в зависимости от реального перемещения при сканирова
нии в задней фокальной плоскости преобразующего объектива в
поле дальней зоны. В связи с этим может использоваться граду
ированная мера, точно установленная в задней фокальной плос
кости /.,.
Кроме того, соотношение между положением анализаторав
плоскости пространственного преобразования (задняя фокальная
плоскость L| на черт. ЗОв) н углом излучения (0) относительно
выходной осн образца выражается следующим образом:
i/=/sin0,
где у — расстояние от оптической оси до плоскости пространст
венного преобразования;
/ — фокусное расстояние преобразующего объектива Lt;
0 —- угол относительно оптической осн.
43.2.2.3.5. Система регистрации
С помощью соответствующих средств регистрируют F.(y) об
наруженную интенсивность излучения в зависимости от положе
ния у анализатора и корректируют обнаруженную интенсивность
излучения по формуле
/(0) —£(p)/cos0,
где /(0) — распределение угловой интенсивности излучения, об
наруженной угловым анализатором;
у — расстояние от диафрагмированного детектора до оп
тической осн;
Е(у) — энергетическая светимость на расстоянии у от опти
ческой осн;
0 — угол относительно оси образца.
43.2.2.4. Оптический детектор
Используют детектор с линейность» не хуже 5% о измеряе
мом диапазоне интенсивности падающего излучения. Может при
меняться диафрагма для уменьшения эффективного размера де
тектора и улучшения разрешения. Детектор или диаметр диаф
рагмы определяют на основе требуемого углового разрешения по
формуле
где D — диаметр апертуры детектора, мкм;
0 — желаемое угловое разрешение,... *,