ГОСТ 25661-83

или поделиться

Ещё ГОСТы из 41757, используйте поиск в верху страницы

ГОСТ 25645.331-91 Материалы полимерные. Требования к оценке радиационной стойкости ГОСТ 25645.331-91 Материалы полимерные. Требования к оценке радиационной стойкости Polymeric materials. Requirements for radiation resistance estimation (Настоящий стандарт распространяется на органические полимерные материалы, предназначенные для эксплуатации в условиях воздействия электронного, протонного, нейтронного и гамма-излучений, и устанавливает единые требования к оценке радиационной стойкости материалов, содержанию технического задания на проведение радиационных испытаний, программе и представлению результатов радиационных испытаний) ГОСТ 25665-83 Покрытие по стали фосфатное огнезащитное на основе минеральных волокон. Технические требования ГОСТ 25665-83 Покрытие по стали фосфатное огнезащитное на основе минеральных волокон. Технические требования Phosphates fire protective steel coating of the mineral fibres. Technical requirements (Настоящий стандарт распространяется на фосфатное огнезащитное покрытие на основе минеральных волокон, наносимое в условиях строительной площадки на стальные строительные конструкции для повышения предела их огнестойкости) ГОСТ 25672-83 Конвейеры ленточные. Приемо-сдаточные испытания ГОСТ 25672-83 Конвейеры ленточные. Приемо-сдаточные испытания Belt conveyors. Acceptance tests (Настоящий стандарт распространяется на ленточные конвейеры общего назначения и устанавливает порядок проведения, основные виды и объем приемо-сдаточных испытаний. Настоящий стандарт не распространяется на конвейеры для перевозки людей, конвейеры, работающие в подземных выработках и карьерах, на рыболовных судах и в рыбной промышленности, а также на конвейеры со стальными лентами и лентами из металлической сетки)

Установки для финишной очистки воды

Общие технические требования Установки для финишной очистки воды

Общие технические требования Installations for final water treatment

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ

УСТАНОВКИ ДЛЯ ФИНИШНОЙ ОЧИСТКИ ВОДЫ

Общие технические требования

Installations for final water treatment.
General technical requirement

ГОСТ
25661-83

Дата введения 01.01.84

1. Настоящий стандарт распространяется на установки финишной очистки воды (далее - установки), предназначенные для деионизации воды с последующей стерилизацией и очисткой от микрочастиц и микроорганизмов непосредственно на месте использования при производстве изделий микроэлектроники 4 степени интеграции.

Пояснения терминов, применяемых в настоящем стандарте, приведены в приложении. (Измененная редакция, Изм. № 1).

2. Очистку воды следует проводить на установке, схема которой приведена на чертеже.

3. В установку следует подавать предварительно деионизованную воду с параметрами, указанными ниже:

удельное сопротивление воды при температуре (20±2) °С, МОм · см, не менее	1,0
содержание органических веществ по КМnО4, мг/л, не более	1,5
давление воды, МПа	0,1-0,25

4. При подаче предварительно деионизованной воды установка должна обеспечивать производительность не менее 0,5 м3/ч.

Для получения деионизованной воды производительностью свыше 0,5 м3/ч следует устанавливать несколько установок и включать их параллельно.

1 - блок подачи; 2 - расходомер; 3, 5 и 10 - манометры; 4 - блок фильтров; 4.1 и 4.2 - ионообменные фильтры; 4.3 - фильтр предварительной очистки от микрочастиц; 6 и 14 - приборы для измерения удельного сопротивления воды; 7 и 13 - датчики удельного сопротивления воды; 8 - блок ультрафиолетовой стерилизации; 9 - фильтр тонкой очистки от микрочастиц; - потребитель; 12 - блок возврата

Примечание. При отсутствии требований к содержанию в деионизованной воде микроорганизмов и микрочастиц из схемы установки следует исключить поз. 8-10.

5. Установка должна обеспечивать получение деионизованной воды с параметрами, указанными ниже:

удельное сопротивление воды при температуре (20±2) °С, МОм · см, не менее	18
содержание электролитов, мг/л, не более	0,02
содержание органических веществ по КмnO4, мг/л, не более	1