5.1.2. Вакуумметр парциального давления | 
|
5.1.3. Вакуумметр ионизационный с горячим катодом | 
|
5.1.4. Вакуумметр магнитный электроразрядный с холодным катодом (вакуумметр Пеннинга) | 
|
5.1.5. Вакуумметр теплоэлектрический (термопарный, сопротивления) | 
|
5.1.6. Вакуумметр U-образный, поршневой | 
|
5.1.7. Вакуумметр компрессионный (Мак-Леода) | 
|
5.1.8. Вакуумметр мембранный (деформационный) | 
|
5.2. Течеискатель. Общее обозначение | 
|
5.3. Масс-спектрометр | 
|